Металдау

Металдау — бүйымдардың немесе өр түрлі металл және металл емес материалдардың бетіне металдардың немесе олардың балқытпаларының жұқа қабаттарын (үлдірлерін) салу. Электрондық техника технологиясында Металдаудың мына өдістерін қолданады: вакуумда термикалық буландыру жене конденсация көмегімен Металдау. Бұл процесс 2 * 10⁻³ - 2 * 10⁻⁵ Па қысымдағы вакуумдық тозаңдату қондырғыларында жұзеге асырылады. Металдауды резистивтік үлдірлерді Gr, Ni, Ті-нан алу үшін, коммутациялық түйіндер мен электродтар үшін ток еткізгіш үлдірлерін Au, Ag, Cu, Al, Ма жасауда қолданады.

Иондық тозаңмен Металдау. Бұл әдісгің мөні мынада: нысананы иондық соққылау нөтижесінде пайда болған тозаңдатылған металдың бәлшектерін металданатын бүйым бетіне конденсациялайды. Металдаудың мүндай әдісі қиын балқитын металдардың (Та, Мо, Nb және т.б.) Үлдірін алуға мүмкіндік береді. Балқыған металды тозандатумен металдағанда газ ағынымен тасымалданатын елшемдері 10 — 100 мкм металл бөлшектері металданатын бет үстіне жоғары жылдамдықпен соғылып, онымен қатты байланысады. Электрондық Техникада мүндай әдісті ИС-да ток еткізгіш элементтерін (Al, Ag, Au) жасау, конденсатордың қағаз таспаларын (диэлектрикті) металдау (AL, Sn) үшін және т.б. Қолданылады. Өндірісте қолданылатын М-дың басқа да әдістері бар.