Ион (электроника): Нұсқалар арасындағы айырмашылық
Content deleted Content added
ш Bot: Migrating 83 interwiki links, now provided by Wikidata on d:q36496 (translate me) |
|||
18-жол:
== Иондық тозандану ==
'''Иондық тозандану''' (''Ионное распыление'') — электрондық аспаптар технологиясында қатты денелер бетінің вакуумда оны иондармен
Технологиялық процестерге байланысты мұны кейде ''"катодтық тозаңдалу"'' деп атайды, өйткені оңделетін денеге теріс [[потенциал]] беріліп, осы дене бетінің бағытында соққылайтын оң иондардың қозғалысы үдей түседі. Электрондық аспаптар технологиясында Иондық тозандану, негізінен, төсеніш (нысана) бетін ойып-өндеу (тазалау) үшін, сондай-ақ тозаңцатылған нысана затын төсенішке тұндыру жолы мен жұқа үлдірлерді алу үшін қолданылады. Иондық тозандану үшін көбіне [[инерттік газдар]]дың (''Не+, Na+, Av+,Kr+,Xe'') 0,1 — 10 КэВ энергияға ие болатын иоңдары пайдаланылады.
|