Литография: Нұсқалар арасындағы айырмашылық

'''Литография'''([[Грек тілі|Греч,]] lithos — тас және grapho — сурет саламын) —'' [[электроника]]да'', [[интегралдық схемалар]]ды және басқа электрондық аспаптарды жасау процесінде [[металл]], [[диэлектрик]] немесе шалаөткізгіш қабатында берілген бедерді (суретті) қалыптастыру әдісі. Литография( процесі сәулеленуге (оптикалық, УК, рентген және т.б.) немесе зарядталған бөлшектер ағынына (электрондардың, иондардың) сезімталдығы жөне ойып-өндеушіге берік резистерді (Р) пайдаланумен іске асырылады. Р-ге әсер ететін сәулелену түріне байланысты фоторезисті, электронорезисті, рентгенорезисті және ионорезисті пайдалану аркылы жүзеге асырылатын оптикалық Литографияны, [[электронолитография]]ны, [[рентгенолитография]]ны, [[ионолитография]]ны және лазерлік литографияны бөліп қарастырады.<ref>Қазақ тілі терминдерінің салалық. ғылыми түсіндірме сөздігі: Электроника, радиотехника және байланыс. — Алматы: "«Мектеп"» баспасы, 2007