Микроэлектромеханикалық жүйелер: Нұсқалар арасындағы айырмашылық
Content deleted Content added
ш Bot: Migrating 25 interwiki links, now provided by Wikidata on d:q175561 (translate me) |
Өңдеу түйіні жоқ |
||
1-жол:
[[Микроэлектромеханикалық жүйелер]] (МЭМЖ) (mikroelectromechanical system, MEMS)
Әдетте көлемі оннан бірнеше жүз мкм-ға жететін жартылай өткізгіш чип болып келеді. МЭМЖ-ға арналған типтік қолданбалы құрылғыларға [[сенсорлар]], [[тетіктер]] және қолданбалы [[элементтер]] кіреді.
[[Санат:Ғылым]]▼
== Дереккөздер ==
{{дереккөздер}}
[[Санат:Электротехника]]
[[Санат:Электроника]]
| |||