Микроэлектромеханикалық жүйелер: Нұсқалар арасындағы айырмашылық

Content deleted Content added
Жаңа бетте: Микроэлектромеханикалық жүйелер (МЭМЖ) (mikroelectromechanical system, MEMS), механикалық және электронды құ...
(Айырмашылық жоқ)

18:07, 2012 ж. сәуірдің 9 кезіндегі нұсқа

Микроэлектромеханикалық жүйелер (МЭМЖ) (mikroelectromechanical system, MEMS), механикалық және электронды құрылғылар бір жерде байланысатын кішкентай құрылғы. Әдетте көлемі оннан бірнеше жүз мкм-ға жететін жартылай өткізгіш чип болып келеді. МЭМЖ-ға арналған типтік қолданбалы құрылғыларға сенсорлар, тетіктер және қолданбалы элементтер кіреді.