Ион (электроника): Нұсқалар арасындағы айырмашылық

Content deleted Content added
ш clean up, replaced: Пайдаланған әдебиеттер → Дереккөздер using AWB
5-жол:
=== Ион қармауы ===
 
'''Ион қармауы''' (''Ионная ловушка'') — [[Кинескоп|кинескоптардыңкинескоп]]тардың электрондық зеңбіректерінің құрамына кіретін құрылғы. Сәуле электрондарының кинескоп ішіндегі газ қалдықтарының молекулаларымен соқтығысуы теріс зарядты ион туғызады.
Ондай иондардың соққылауынан [[Кинескоп|кинескоп экраны]] тез істен шығады. Кинескоптардың кейбір түрлерінде ионды қармау аркылы иондар баска бағытпен жіберілсе, онда экранды металдандыру арқылы ионның зиянды әрекеттері залалсыздандырылады.
12-жол:
[[Сурет:Ion implanter schematic.png|thumb|300px|right]]
 
'''Иондық лигерлеу''' (''Иондық имплантация, ионное легирование, ионная имплантация'') — қатты денені қоспалық заттың иондарымен соққылау арқылы оған легирлейтін қоспаларды енгізу.
 
ШӨ аспаптар мен ИС өндірісінде Иондық лигерлеу көмегімен ШӨ кристалдың немесе оның бір бөлігінің электрооткізгіштігі мен типін өзгертеді; кейбір оптоэлектрондық материалдарды синтездейді. Иондық лигерлеуді МТШ ИС-ді жасауда жұқа үлдірлі [[Резистор|резисторларрезистор]]лар номиналын дөлдегенде сәулежолдар, фотоқабылдағыштар және т.б. аспаптарды жасағанда кейбір [[Оптика|оптикалық материалдардың]] сыну [[Коэффициент|коэффициентінкоэффициент]]ін өзгерту үшін қолданады. Иондық лигерлеу ионды сәулелік қондырғыларда жоғары [[вакуум]] (''103—10 4Па'') жағдайында жүзеге асырылады.
 
== Иондық тозандану ==
 
'''Иондық тозандану''' (''Ионное распыление'') — электрондық аспаптар технологиясында қатты денелер бетінің вакуумда оны иондармен соққылаудың нөтижесінде бұзылуы.
 
Технологиялық процестерге байланысты мұны кейде ''"катодтық тозаңдалу"'' деп атайды, өйткені оңделетін денеге теріс [[потенциал]] беріліп, осы дене бетінің бағытында соққылайтын оң иондардың қозғалысы үдей түседі. Электрондық аспаптар технологиясында Иондық тозандану, негізінен, төсеніш (нысана) бетін ойып-өндеу (тазалау) үшін, сондай-ақ тозаңцатылған нысана затын төсенішке тұндыру жолы мен жұқа үлдірлерді алу үшін қолданылады. Иондық тозандану үшін көбіне [[инерттік газдар]]дың (''Не+, Na+, Av+,Kr+,Xe'') 0,1 — 10 КэВ энергияға ие болатын иоңдары пайдаланылады.
24-жол:
== Ионды-плазмалық технология ==
 
'''Ионды-плазмалық технология''' (''Ионно-плазменная технология'') — газразрядты төоменгі температуралы [[плазма]] компоненттерін пайдалану, электронды техникалық материалдар мен бұйымдарды алу және өндірудің жолдары мен тәсілдерінің жиынтығы. Ионды-плазмалық технология ШӨ аспаптар өндірісінде, соның ішінде төсеніштер бетін тазалауда және [[металдар]], ШӨ немесе диэлектриктердің жұқа үлдірлерін, ионды-плазмалық тозаңдату, иондық немесе плазмо-химиялық тұндыру арқылы салу; [[Топология|топологиясытопология]]сы белгілі ИС-ны алу үшін жұқа үлдірлерді иондық және ионды-сәулелік ойып өндеу және т.б. жиі қолданылады.
 
== Ионды-сәулелік тұндыру ==
[[Сурет:Deep Space 1 ion engine.jpg|thumb|left|250px|Иондық двигатель]]
'''Ионды-сәулелік тұндыру''' (''Ионно-лучевое осаждение'') — энергиясы төмен (''5—100 эВ'') иондардың [[ФОКУС|фокустелген]] шоғы көмегімен төсеніш үстіне металдар, [[шалаөткізгіштер]] немесе [[диэлектриктер]] үлдірлерін салу.
 
Ионды-сәулелік тұндыру кеңістікте күрделі жылжытулар жасамай-ақ көлемді денелер бетіне үлдірді бір қалыпты салуға, төсеніштің қалыпты температурасында эпитаксиаль қабаттарды өсіруге, тығыздығы жоғары үлдірлерді алуға мүмкіндік береді. Қолданылуы: ''Cds, CdTe, CdSe'' типті және т.б. қосылыстардың үлдірлерін алу және олардың негізінде фотоқабылдағыштарды, [[күн батареялары]]н, акустоэлектрондық құрылғыларды жасау.
34-жол:
== Ионолитография ==
 
'''Ионолитография''' (''Ионды-сәулелік литография'', ИЛ) — кескінді [[жеңіл элемент]]терді (мысалы, Не+, О+, Н+, Аг+ және т.б.) иондар шоғымен тасымалдауды іске асыратын литографияның қазіргі жаңа түрі.
 
ИЛ-ның екі әдісі бар: ''сканирлейтін'' ИЛ, ''проекциялық шаблонды'' ИЛ. Фокустелген сәулесі бар сканирлейтін ИЛ сканирлейтін электронды литограионфияға ұқсас. Мұнда пластина үстіне тікелей суретті көшіріп түсіретін қондырғылар қолданылады. Осындай қондырғьща бастаудан шығатын иондар [[Линза|линзаларлинза]]лар жүйесінің комегімен резистпен жабылған пластинаға фокустеледі. Жарықтандыру кезінде фокустелген сәуле дәл берілген орынға түсіріліп, электростатикалық ауытқытатын жүйе комегімен пластина бетінде кішкене аудан бойынша сканирленеді.
 
Аумақ шеттеріндегі сәуле қимасының ұлғаюынан сканирлеу ауданы шектелген (1 мм<sup>2</sup>-тан аспайды). Пластинаның толық бетіне кескіндеу әрбір аумақта орналасқан арнайы белгілерді сәйкестендіру арқылы жүзеге асырылады. Осы литография өлшемдері ''0,03—0,3 мкм'' болатын шағын элементтерді жасау үшін қолданылады.
 
Шаблоны бар проекциялық ИЛ резистпен жабылған пластинадан аз қашықтықта орналасқан шаблонды коллимацияланған сәулемен жарықтандыруға негізделген. Шаблонда орналастырылған иондарды жұтатын үлдірдегі тесіктер топологияның жарықтандырылатын пішін үйлесімін (конфигураниясын) анықтайды. ИЛ рентгенолитографияға ұқсас, екі әдісте де фокустелмеген сәулелендіру көздері мен бірдей шаблондар қолданылады.
44-жол:
== Ионорезист ==
 
'''Ионорезист''' - энергиясы ''30 КэВ''-тен бірнеше МэВ-ке дейінгі жеңіл элементтер (Н+, Н+, О+, Av+) иондарының әсеріне сезімтал болатын сұйық резист. Ионорезист [[ионолитография]]да қолданылады.
 
Ионорезистпен қалыптастырылатын қабаттың қалындығы ''0,1—0,6'' мкм. Позитивті Ионорезисттің негізі полиметакрилат пен полисульфоңдар туындылары; негативті Ионорезисттің негізі [[полакрилат]], [[полистирол]], [[полидиендер]].
50-жол:
== Ионосфера ==
[[Сурет:Ionogramme.png|thumb|right|300px]]
'''Ионосфера''' - ''60-80'' км биіктіктен басталатын, жер [[магнитосфера]]сының жоғарғы бөлігін қамтитын [[атмосфера]] қабаты. Бұл қабатта күн радиациясыныц ультракүлгін, рентген және ғарыштық сәулелердің әсерінен атмосфералық газдар молекулаларының ьдырауынан газдардың иондану, элекгрондардың шоғырлану дәрежелері аса жоғары болады.
 
[[Радиотолқындар|Радиотолқынды]] шағьшдыру қасиетін пайдаланып, тәжірибе арқылы ионосферанын төрт қабаттан түратыны анықталған: В
61-жол:
ISBN 9965-36-448-6</ref>
 
== Дереккөздер ==
== Пайдаланған әдебиеттер ==
<references/>
 
{{Elec-stub}}
{{wikify}}
 
69-жол:
 
[[Санат:Электроника]]
 
 
{{Elec-stub}}