Рентгенолитография
Рентгенолитография (X = 0,2 — 5 нм) — литографияның ажырату мүмкіндігі жоғары әдістерінің бірі. Өлшемдері 0,1 мкм және одан кіші суреттерді алуға болады. Рентген сәулесінің көзі арнайы нысаналар (электронды-сәулелік көздер), лазермен, электр ұшқынымен қоздырылатын плазманың ионизация бөлшектері (плазмалық көздер) және синхротрондар болуы мүмкін. Ең көп тараған көзі — электронды-сәулелік көздер. Жарықтандыратын сәулеленудің толқын ұзындығы нысана материалына және рентгендік спектрдің қоздырылатын сериясына (электрондар энергиясына) тәуелді, мысалы: Л(Мо2) = 0,541 нм, Х(Си2) = 1,33 нм. Рентгенолитографияге түйіспелі емес жарықтандыру әдісі тән. Рентгеношаблон мен төсеніш арасында қолданылатын рентгеношаблонның сынғыштығы салдарынан 10-нан 100 мкм-ге дейін саңылау болады.[1]
Дереккөздер өңдеу
- ↑ Қазақ тілі терминдерінің салалық ғылыми түсіндірме сөздігі: Электроника, радиотехника және байланыс. — Алматы: «Мектеп» баспасы, 2007 ISBN 9965-36-448-6
| Бұл мақаланы Уикипедия сапа талаптарына лайықты болуы үшін уикилендіру қажет. |
| Бұл мақалада еш сурет жоқ.
Мақаланы жетілдіру үшін қажетті суретті енгізіп көмек беріңіз. Суретті қосқаннан кейін бұл үлгіні мақаладан аластаңыз.
|
|
Бұл — мақаланың бастамасы. Бұл мақаланы толықтырып, дамыту арқылы, Уикипедияға көмектесе аласыз. Бұл ескертуді дәлдеп ауыстыру қажет. |
|
Бұл — электроника туралы мақаланың бастамасы. Бұл мақаланы толықтырып, дамыту арқылы, Уикипедияға көмектесе аласыз. |