Рентгенолитография

Рентгенолитография (X = 0,2 — 5 нм) — литографияның ажырату мүмкіндігі жоғары әдістерінің бірі. Өлшемдері 0,1 мкм және одан кіші суреттерді алуға болады. Рентген сәулесінің көзі арнайы нысаналар (электронды-сәулелік көздер), лазермен, электр ұшқынымен қоздырылатын плазманың ионизация бөлшектері (плазмалық көздер) және синхротрондар болуы мүмкін. Ең көп тараған көзі — электронды-сәулелік көздер. Жарықтандыратын сәулеленудің толқын ұзындығы нысана материалына және рентгендік спектрдің қоздырылатын сериясына (электрондар энергиясына) тәуелді, мысалы: Л(Мо2) = 0,541 нм, Х(Си2) = 1,33 нм. Рентгенолитографияге түйіспелі емес жарықтандыру әдісі тән. Рентгеношаблон мен төсеніш арасында қолданылатын рентгеношаблонның сынғыштығы салдарынан 10-нан 100 мкм-ге дейін саңылау болады.