Фоторезист

Фоторезист - ультракүлгін жарыққа сезімтал және фотолито¬графия процесінде ИС-да үлдірлердің қажетті конфигурациясын жасау үшін пайдаланылатын фотоэмульсияның түрі. Фоторезисттің екі түрі болады: негативті және позитивті. Негативтілер УК сәулелендіру әсерінен полимеризация жасап, ойып-өндеуге төзімді болып қалады. Позитивті фоторезистте, керісінше жарықтың әсерінен жарық түспеген жерлер қатайып, ал жарық түскен жерлер ойып-өңдеушілермен өндегенде аласталады.[1]

ДереккөздерӨңдеу

  1. Қазақ тілі терминдерінің салалық ғылыми түсіндірме сөздігі: Электроника, радиотехника және байланыс. — Алматы: «Мектеп» баспасы, 2007 ISBN 9965-36-448-6