Сәйкестендіру және жарықтандыру қондырғысы

Сәйкестендіру және жарықтандыру қондырғысы — литография әдістерімен электрондық техника бұйымдарын жасағанда фотошаблон көмегімен қорғаушы перделерді бірнеше рет қалыптастыруға арналған қондырғы. Сәйкестендіру және жарықтандыру қондырғысы бұйым мен фотошаблонды немесе оның кескінін сәйкестендіруді және осыдан кейін бұйымды жауып тұрған фоторезистке жарықтандыру арқылы бұйымға фотошаблон кескінін түсіруді қамтамасыз етеді.

Фотошаблонды бұйыммен сәйкестендіру, мысалы, шалаөткізгіш пластинамен, қолмен немесе автоматы түрде Фотошаблон үстіне және пластина үстіне салынған негіздік (реперлік) белгілердің (крест, штрих немесе басқа геометриялық фигура түріндегі) дәл сәйкес келуіне дейін оларды өзара параллель жазықтықта жылжытумен іске асырылады. Негізгі белгілер дәл сәйкес келгеннен кейін фоторезист Фотошаблон арқылы өтетін когерентті жарық сәулесімен жарықтандырылады. Сәйкестендіру және жарықтандыру қондырғысы құрамына сәйкестендіру және жарықтандыру процесін іске асыратын оптико-механикалық құрылғы; қондырғы жұмысын реттейді.