Фотошаблон
Фотошаблон - мөлдір және қарайтылған бөліктері, яғни микросызбаның қабатты суреті бар шыны перде немесе фотоүлдір. Фотошаблон фотолитография процесінде ИС жасағанда фоторезист қабатын жергілікті жа¬рықтандыру үшін қолданылады. Фотошаблон төсенішін кәдімгі шыныдан (толқын ұзындығы 1 = 300 нм-ден асатын сәулемен жарықтаңцырғанда) немесе кварц шыныдан (1 300 нм) жасайды.[1]
Дереккөздер
өңдеу- ↑ Қазақ тілі терминдерінің салалық ғылыми түсіндірме сөздігі: Электроника, радиотехника және байланыс. — Алматы: «Мектеп» баспасы, 2007 ISBN 9965-36-448-6
| Бұл мақаланы Уикипедия сапа талаптарына лайықты болуы үшін уикилендіру қажет. |
|
Бұл — мақаланың бастамасы. Бұл мақаланы толықтырып, дамыту арқылы, Уикипедияға көмектесе аласыз. Бұл ескертуді дәлдеп ауыстыру қажет. |